去年的一波半导体热潮，让光刻机成了香饽饽。

不过，依照ASML(阿斯麦)、尼康、佳能三家公司的官方数据整理得知，去年全球光刻机总销售量为413台。

其中ASML销售258台占比62%，佳能销售122台占比30%，尼康销售33台占比8%。不过按照销售额来计算的话，因为最昂贵的EUV只有ASML制造销售，所以总的份额占比依次是91%、3%、6%。

从光刻机类型来看，尼康出货的主要是ArF immersion、ArF dry，佳能主要是KrF、i-line(份额69%)。当然，ASML在各种类型的光刻机上都有涉猎，除了i-line，几乎每种类型都是绝对龙头。

有分析机构表示，参考ASML单价，估计全球光刻机市场规模在2020年达到了130多亿美元，同比增长20%以上。(作者：万南)

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