中华网数码

设为书签Ctrl+D将本页面保存为书签,全面了解最新资讯,方便快捷。
业 界/ 互联网/ 行 业/ 通 信/ 数 码/ 手 机/ 平 板/ 笔记本/ 相 机
当前位置: 数码 > 要闻 >

ASML公布最新一代EUV光刻机3600D最新进展:生产效率增加18%

ASML公布最新一代EUV光刻机3600D最新进展:生产效率增加18%
2020-10-15 09:19:16 来源:快科技

10月14日,荷兰ASML(阿斯麦)公布了光刻机产品的最新进展。

其中TWINSCAN NXE:3600D作为其目前研发中的最先进光刻机系统,终于敲定最终规格。

具体来说,30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆,提高了18%的生产率,并改进机器匹配套准精度至1.1nm。

3600D定于2021年中旬出货交付,客户还需要一定时间等待,价格应该不会低于现款老型号的1.2亿美元。

目前,ASML已经投产最先进光刻机是3400C,但主力出货型号是3400B。参数方面,3400B的套刻精度为2nm、曝光速度20mJ/cm2,每小时可曝光125片晶圆。

另外,ASML透露,3400B在三季度也完成了软件升级。全新的DUV光刻机TWINSCAN NXT:2050i已经在三季度结束验证,四季度早期开始正式出货。

据悉,在截止9月30日的单季度,ASML共获得60台光刻机收入,出货了10台EUV光刻机。(作者:万南)

责任编辑:kj005

文章投诉热线:156 0057 2229 投诉邮箱:29132 36@qq.com
关键词:

数据显示:1-9月国内5G手机累计出货量1.08亿部

2020-10-14 14:01:07数据显示:1-9月国内5G手机累计出货量1.08亿部

2020年1-7月中国市场5G手机累计出货量超7750万台

2020-10-14 11:07:112020年1-7月中国市场5G手机累计出货量超7750万台

中国的5G用户数量已经超过了1.5亿人

2020-10-13 09:41:50中国的5G用户数量已经超过了1.5亿人

三季度全球PC出货量创历史新高:联想集团排名第一

2020-10-13 09:01:16三季度全球PC出货量创历史新高:联想集团排名第一

全球PC市场增速创十年最快 联想份额超惠普位居榜首

2020-10-12 11:17:31全球PC市场增速创十年最快 联想份额超惠普位居榜首

2020年全球5G智能手机销量将激增1300%,达到2.5亿部

2020-10-12 09:47:492020年全球5G智能手机销量将激增1300%,达到2.5亿部

相关新闻