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三星电子明年可能使用极紫外光(EUV)技术来生产内存
近日，据台湾媒体报道，三星电子明年可能使用极紫外光(EUV)技术来生产内存。对此，美光科技副总裁、董事长徐国晋表示，美光不打算对此跟进，目前并无采用EUV计划。
目前，世界上EUV光刻机市场由ASML一家公司垄断，单台机器价格达到了1.2亿美元。
根据市场分析机构TrendForce集邦咨询的预计，明年动态随机存取存储器(DRAM)可能跨入EUV世代，将由三星抢先导入EUV技术，以提升成本结构与生产效率。
不过，美光科技副总裁、董事长徐国晋近日在采访中表示，美光目前采用浸润式设备，配合其他制程可以达到一样的效果，因此并无跟进三星使用EUV技术的计划。 (作者：邹云鹏)
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