随着半导体工艺的快速发展,超纯水的品质与资源效率已成为影响行业竞争力的重要因素。其中,超纯水的品质直接影响到半导体产品的良率和性能,而循环利用率则影响企业的节水效能和降本增效能力。高频科技作为一家聚焦于芯片制造等电子核心产业的超纯水系统供应商,以创新为核心驱动力,推出了一系列围绕超纯水的创新解决方案,不仅为客户创造了新的价值增长点,更为行业铸就了全新竞争力。

创新引领超纯水工艺革新,突破高端市场壁垒

在半导体制造过程中,超纯水需达到极高的纯度基准。具体而言,即水分子纯度需达到99.9999999999%,电阻率应超过18.2MΩ·cm(25℃条件下)。同时,对于金属离子、总有机碳(TOC)、溶解氧等杂质的含量也有严格的控制标准。这样高标准、严要求的背后,反映了对生产技术的极致追求。正因为这些挑战,该领域长期被国际厂商所垄断。

在这一背景下,高频科技凭借自主创新及深厚的行业经验和技术积累,克服了超纯水工艺中的诸多难题,其超纯水系统制备的超纯水纯度可达ppt级别,离子含量仅万亿分之一,打破了境外厂商对国内超纯水系统高端市场的垄断。当前,高频科技是国内极少数能够在芯片领域提供超纯水系统的企业,亦是国内首家具备12英寸14nm芯片产线超纯水制备能力的系统供应商。

高频科技在实现技术突破的同时,高度重视知识产权的积累和研发体系的持续优化,已围绕超纯水领域成功积累了超过70项知识产权,包括发明专利、实用新型专利和软件著作权等。此外,随着高频科技创新研发基地的正式落成,将进一步提升关键核心技术自主创新能力,完善内部科技创新机制及开放合作体系。这不仅在新的竞争周期中为高频科技赢得了先机,也为整个行业注入了新的活力和增值潜力。

水资源回收率90%,满足降本增效与可持续发展需求

半导体行业既是“技术密集型”产业,也是“资源消耗型”产业。一个生产4万片200纳米晶圆的工厂日用水量约8000至10000吨,其中70%用于制超纯水;升级至16/7纳米工艺后,同产能12英寸晶圆厂日用水量增至约20000吨。水资源成本与环保压力居高不下,进一步凸显了水资源循环技术的重要性。高频科技通过创新水处理工艺,将超纯水制备过程中的水资源回收率提升至90%,较行业平均水平实现显著优化,为企业节水降本带去技术支撑。

具体而言,高频科技电子级废水处理技术通过多工艺结合,高效经济地处理复杂芯片废水,覆盖超15种废水类型,涵盖了先进制程产线可能产生的所有废水种类,兼顾处理效率高和低成本。同时公司凭借前瞻性设计能力和制程工艺理解能力,精心规划工厂水资源平衡,确保30多种制程废水得到合理分流与回用,最终实现了高达90%的用水制备回收率,在确保水质达标的基础上,为企业节水效益提升,水资源的稳定和行业可持续发展贡献了力量。

高频科技通过超纯水技术与解决方案创新,围绕“品质提升、成本优化、资源可持续”三大核心维度,为半导体企业提供切实竞争力支撑。随着中国半导体产业向高端化加速迈进,高频科技将继续以技术创新为引擎,助力行业锻造全“芯”竞争力,为全球半导体供应链的多元化发展贡献中国力量。

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