在半导体制造领域,超纯水作为关键的生产要素,其纯度、供应周期和成本效率直接影响着芯片生产的质量与效益。高频科技推出的一体式智能超纯水系统,凭借其模块化设计、先进工艺保障及远程智能运维等优势,为半导体行业带来了“短周期交付”与“超纯水质”的双优解决方案。

模块化+标准化,保障短周期建设需求

在半导体工厂建设中,面对新生产线紧急上马、设备故障导致的临时停机或技术升级带来的产能调整等场景,高频科技的一体式智能超纯水系统展现出强大的灵活性。

据了解,该系统采用模块化设计和标准化配置,涵盖预处理、RO反渗透、EDI电除盐、抛光等多达20余项工艺子系统,可根据客户需求快速提供5m³/h至25m³/h的标准化产品。系统以集装箱为载体,支持即接即用、快速部署,建设周期较传统方案大为缩短,尤其适用于半导体工厂扩建、设备维护时的临时应对、季节性生产变动时的对应等短周期场景。标准化的装备无需定制,大幅降低初期投入成本,同时配备智能运维体系,实现无人值守和远程监控,进一步减少了人力与运维开支。

先进工艺保障水质,快速响应严苛生产需求

半导体的制造过程对水质要求极为严苛,任何微量的杂质都可能引发光刻缺陷、电路短路或氧化层损伤,从而严重影响芯片的性能、可靠性和良率。超纯水作为湿法清洗、刻蚀、沉积等关键工艺的基础,其纯度直接决定了芯片的质量和成品率。

据悉,高频科技的一体式智能超纯水系统使用先进的过滤、吸附、离子交换、膜分离技术、紫外线技术、自动控制、电气化等技术,涉及水箱、罐体、水泵、膜元件、仪表、阀门、管道、电气装置、填料等100多类装备和产品,能够稳定产出符合严格半导体生产标准的超纯水。同时,该系统还具备实时监控和自动控制功能,确保水质始终稳定在极高水平,从而保障了生产连续性和芯片质量。

值得一提的是,高频科技超纯水系统制备的超纯水纯度可达ppt级别,离子含量仅万亿分之一。该公司是国内极少数能够在芯片领域提供超纯水系统的企业,同时还是国内首家具备12英寸14nm芯片产线超纯水制备能力的系统供应商。

高频科技凭借其一体式智能超纯水系统的多场景适应能力,为半导体生产提供了坚实保障。近年来,高频科技在深耕超纯水、废水处理及回用等主业的同时,积极拓展多元化业务版图,目前已涵盖超纯水系统供应、半导体水系统运维、半导体水处理专用药剂及超纯水系统专用耗材、一体式智能超纯水系统、尾气处理设备(Local Scrubber)以及半导体工艺设备二次配服务等,显著增强了盈利能力和可持续发展潜力。

责任编辑：kj005

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